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kSA SpectR 光譜反射率測(cè)試儀是一種用于測(cè)量光譜絕對(duì)反射率，L*a*b*成色值和生長速率的非接觸式測(cè)量設(shè)備。kSA SpectR 光譜反射率測(cè)試設(shè)備具有多種在線監(jiān)控和過程控制的應(yīng)用功能，包括垂直腔表面發(fā)射激光器（VCSEL），分布式布拉格反射器（DBR）和其他一些復(fù)雜的設(shè)備結(jié)構(gòu)。該設(shè)備主要應(yīng)用于監(jiān)控測(cè)量sputtering，MBE和MOCVD等薄膜生產(chǎn)研究。